自1909年蓋德(W．Gaede)發明旋片泵并取得德國專利，1936年又發明氣鎮泵，1941年取得專利以來，旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。60年代末，國際上出現了提高轉速，直聯的小型化趨勢，70年代初出現了直聯系列產品，到80年代初，又推出了改進的系列產品，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵，或保護環境，泵本身結構也有改進而使可靠性提高。
在泵的結構方面，為了能在停泵時防止返油，有的設有能自動切斷油路的止回閥，有的設有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮運轉突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態而設有油泵和控制結構。在附件方面，有消霧器、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過濾器、灰塵過濾器、蒸汽凝結阱、化學阱，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調節閥。到了80年代末，90年代初，又推出了油過濾器、能監視油溫、油壓、油質等的電子顯示器，甚至可以與計算機聯結，進行自動控制，采用強制潤滑和風冷，使泵的連續工作入口壓力達10kPa，甚至更高，同一臺泵的適用范圍因而更大。
雙級旋片真空泵，可以廣泛用于冰箱、空調機、燈泡、日光燈、瓶膽生產和電子、冶金、醫藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫療儀器等配套和實驗研究應用。由于直聯泵沒有皮帶摩擦的粉塵的污染，體積小、重量輕、材料節約、功能日趨完善，更被廣泛推廣應用。
噪聲成因和降低措施
旋片真空泵的噪聲，通常指泵在溫度穩定時，在極限真空下測得的噪聲級。它包括泵本身的噪聲和電機噪聲對用戶來說，還關心泵溫未穩定時的起動階段的噪聲和不同入口壓強下運轉的噪聲，還有開氣鎮工作時的噪聲。因此。要考慮多種影響因素。
就發聲的部位來分，泵的噪聲有下列幾個可能方面：
(1)旋片對缸體的撞擊，泵殘余容積和排氣死隙中的壓力油的發聲；
(2)排氣閥片對閥座和支持件的撞擊；
(3)箱體內的回聲和氣泡破裂聲；
(4)軸承噪聲；
(5)大量氣、油沖擊擋油板等引起的噪聲；
(6)其他。如傳動引起的噪聲，風冷泵的風扇噪聲等。
(7)電機噪聲，這是至關重要的因素。
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