—個(gè)理想的真空系統(tǒng)或真空容器，應(yīng)當(dāng)是不存在任何漏孔，不產(chǎn)生任何漏氣現(xiàn)象的。但是任何真空系統(tǒng)或真空容器來說絕對(duì)不漏的現(xiàn)象是不可能的。特別是在壓力極低的情況下，隨漏氣現(xiàn)象的影響不斷加劇，真空度達(dá)不到預(yù)定的工藝要求，是一個(gè)相當(dāng)普遍的問題。為此檢測真空系統(tǒng)或真空容器存在的漏氣部位、確定漏孔的堵塞漏孔從而消除 漏氣現(xiàn)象，就成為真空技術(shù)工作者的一項(xiàng)重要工作。
所謂漏氣或稱實(shí)漏、它是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從側(cè)流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。真空檢漏技術(shù)中常用基本概念主要有如下各點(diǎn)。
①虛漏是相對(duì)于實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這大都是由于材料的放氣、解吸、凝體或系統(tǒng)內(nèi)存在死空間中氣體的流出等原因而引起真空系統(tǒng)或容器中壓力升高的一種現(xiàn)象，真空檢漏作業(yè)時(shí)要排除虛漏的影響。
②氣密性-它是表征真空系統(tǒng)或容器的壁對(duì)空氣不可滲透程度的一種性能。
③漏孔-漏孔是指真空器存在的形狀不定、極其微小的孔洞或間陳。大過這種小孔或間隙進(jìn)人真空系統(tǒng)或容器中。
④漏率-漏率即漏氣速率。它是指單位時(shí)間內(nèi)通過漏孔或間隙流人到真空系統(tǒng)或容器內(nèi)的氣體量。
⑤最小可檢漏率它是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的最小漏率。
⑥檢漏靈敏度或稱有效靈敏度，即檢漏儀器 在最佳工作狀態(tài)下能檢測出的最小漏率。
⑦反應(yīng)時(shí)間又稱響應(yīng)時(shí)間，它是指從檢漏方法開始實(shí)施（如開始噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其最大值的63%時(shí)所需要的時(shí)間.
⑧消除時(shí)間它是指從檢漏方法停止（如停止 噴吹試漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時(shí)所箝要的時(shí)間，
⑨漏孔堵塞現(xiàn)象它是指由塵�；蛞后w所造成 的漏孔堵塞，這些堵塞常常是指由于檢漏作業(yè)搡作不當(dāng)而導(dǎo)致發(fā)生的一種暫時(shí)現(xiàn)象，檢漏時(shí)似乎不漏氣, 但一經(jīng)排氣又會(huì)出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
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